《微細光刻金屬掩模版的飛秒雷射加工研究》是依託西安交通大學，由梅雪松擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：微細光刻金屬掩模版的飛秒雷射加工研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：梅雪松
- 依託單位：西安交通大學
- 支持經費：28（萬元）
- 研究期限：2006-01-01 至 2008-12-31
- 負責人職稱：教授
- 申請代碼：E0509
- 批准號：50575176
中文摘要
納米量級的金屬掩模版製作是下一代大規模集成晶片光刻中的關鍵技術。本課題提出一種利用飛束戶影秒良射屑雷射燒蝕來製作金屬掩模版的方法，為此，在大量的典型金屬材料飛秒雷射燒蝕實驗研究基礎上，蜜刪格精探索飛秒雷射作用下典型金屬材料的熱傳遞和破壞過程，建立雷射能量吸收和分子囑跨放相變數學模型，從而揭示飛秒雷射對典型金屬材料的燒境巴頁蝕機理欠挨；進一步，提出飛秒雷射對典型金屬材料的加工工藝參數，通過與三維精密運動平台控制只記臭晚的結合，最終實現微細線寬
