微納米材料力學性能測試系統是一種用於機械工程領域的科學儀器，於2008年11月18日啟用。
基本介紹
- 中文名：微納米材料力學性能測試系統
- 產地：美國
- 學科領域：機械工程
- 啟用日期：2008年11月18日
技術指標,主要功能,
技術指標
縱向載荷力和位移。載荷力解析度：3nN（在施加1µN的條件下）；最小載荷接觸力：＜100nN；最大載荷：10mN；位移解析度：0.0004nm；最小位移：＜0.2nm；最大位移：5μm；熱漂移：＜0.05nm/s（在室溫條件下）。 橫向載荷力和位移。載荷力的解析度：0.5μN；最小橫向力：＜5μN；最大橫向力：2mN；位移解析度：3nm；最小位移：＜5nm；最大位移：15μm；熱漂移：＜0.05nm/s（在室溫條件下）。磨損面積範圍：4μm x 4μm 到 60μm x 60μm；磨損速率：≤180μm/s；縱向載荷範圍：100nN – 1mN。X-Y stage。可移動範圍：250mm x 150mm；步長解析度：50nm；Encoder 解析度：500nm；最大移動速率：30mm/S；Z stage。可移動範圍：50mm；步長解析度：3nm；最大移動速率：1.9mm/S。原位成像掃描範圍。XY 方向：60μm x 60μm；Z 方向：4μm；成像解析度：256 x 256 像素點；掃描速率：3Hz；壓頭原位的位置控制精度：＜+/-10nm；最大樣品尺寸：150mm- 200mm。
主要功能
納米壓痕試驗：測試硬度及彈性模量（包括隨著連續壓入深度的變化獲得硬度和彈性模量的分布）以及斷裂韌性、蠕變、應力釋放等。 納米劃痕試驗：獲得摩擦係數、臨界載荷、膜基結合性質。納米摩擦磨損試驗 ：評價抗磨損能力。在壓痕、劃痕、磨損前後的SPM原位掃描探針成像: 獲得微區的形貌組織結構。
