《微納機電系統與微納感測器技術》是科學出版社出版的圖書，作者是國家自然科學基金委員會,中國科學院。
基本介紹
- 中文名：微納機電系統與微納感測器技術
- 作者：國家自然科學基金委員會,中國科學院
- 出版社：科學出版社
- ISBN：9787030652409
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
本書對微納機電系統與微納感測器領域的主要技術進行了分類闡述，全面總結了技術的發展現狀，客觀分析了技術的發展態勢，從學科的發展規律和研究特點出發，前瞻性地思考了技術的發展思路與發展方向，提出了我國發展該學科的資助機制與政策建議。
圖書目錄
- 總序
- 前言
- 摘要
- Abstract
第一章 微納機電系統與微納感測器的戰略地位 1
第二章 基於微納機電系統的光學感測器及光電子晶片技術 5
第一節 光學MEMS技術 5
一、概述 5
二、發展現狀與發展態勢 11
三、發展思路與發展方向 19
四、資助機制與政策建議 21
第二節 集成生物光電子晶片技術 22
一、概述 22
二、發展現狀與發展態勢 24
三、發展思路與發展方向 27
四、資助機制與政策建議 52
參考文獻 55
第三章 基於微納機電系統的譜學分析感測器技術 62
第一節 概述 62
一、譜學分析感測器的定義與內涵 62
二、譜學分析感測器的發展動力 63
第二節 發展現狀與發展態勢 64
一、譜學分析感測器的發展現狀 64
二、譜學分析感測器的發展態勢 86
第三節 發展思路與發展方向 88
一、譜學分析感測器的關鍵科學問題 88
二、譜學分析感測器的發展總體思路和發展目標 88
第四節 資助機制與政策建議 89
參考文獻 90
第四章 基於微納機電系統的生化感測器與微流控晶片技術 95
第一節 微納生化感測器技術 95
一、概述 95
二、發展現狀與發展態勢 97
三、發展思路與發展方向 108
四、資助機制與政策建議 110
第二節 微流控晶片技術 111
一、概述 111
二、發展現狀與發展態勢 114
三、發展思路與發展方向 127
四、資助機制與政策建議 131
參考文獻 133
第五章 基於微納機電系統的醫療感測器技術 140
第一節 植入式神經電極感測技術 140
一、概述 140
二、發展現狀與發展態勢 141
三、發展思路與發展方向 148
四、資助機制與政策建議 148
第二節 中醫脈診與針灸針感測微系統 149
一、概述 149
二、發展現狀與發展態勢 150
三、發展思路與發展方向 161
四、資助機制與政策建議 163
參考文獻 164
第六章 前沿微納機電系統技術 167
第一節 基於單晶片單面的微納加工技術 167
一、概述 167
二、發展現狀與發展態勢 169
三、發展思路與發展方向 175
四、資助機制與政策建議 176
第二節 套用於汽車自動駕駛技術的微納感測器 177
一、概述 177
二、發展現狀與發展態勢 178
三、發展思路與發展方向 186
四、資助機制與政策建議 187
第三節 螢光感測材料及器件 187
一、概述 187
二、發展現狀與發展態勢 188
三、發展思路與發展方向 201
四、資助機制與政策建議 204
第四節 基於金剛石材料的感測器 205
一、概述 205
二、發展現狀與發展態勢 206
三、發展思路與發展方向 209
四、資助機制與政策建議 210
第五節 基於氮化鋁壓電薄膜的射頻FBAR211
一、概述 211
二、發展現狀與發展態勢 213
三、發展思路與發展方向 218
四、資助機制與政策建議 218
第六節 熔融石英的微球形陀螺 219
一、概述 219
二、發展現狀與發展態勢 222
三、發展思路與發展方向 227
四、資助機制與政策建議 227
參考文獻 228
關鍵字索引 235
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