微系統設計導論（第2版）

《微系統設計導論（第2版）》是2019年9月清華大學出版社出版的圖書，作者是[德] 沃納·卡爾·施默博格（Werner Karl Schomburg）。

基本介紹

• 中文名：微系統設計導論（第2版）
• 作者：[德] 沃納·卡爾·施默博格（Werner Karl Schomburg）
• 出版社：清華大學出版社
• 出版時間：2019年9月
• 定價：68.5 元
• ISBN：9787302517573

內容簡介

《微系統設計導論（第2版）》系統介紹組成微系統的基本微結構、功能單元和典型器件的設計，包括薄層、彈性元件（如膜片、微梁）、應變和位移的檢測單元、電阻和電容的測量電路、靜電驅動力、壓電效應、毛細管力、微流體控制單元、微感測器、微執行器等，並附大量的設計計算練習題。

圖書目錄

緒論

第1章尺度效應

第2章彈性變形

第3章薄膜

練習題

第4章導路

練習題

第5章電學測量

練習題

第6章膜片

練習題

第7章膜片上的應變計

練習題

第8章梁

練習題

第9章振動

練習題

第10章微流道

練習題

第11章電容力

練習題

第12章壓電效應

練習題

第13章熱執行器

練習題

第14章微光學技術

練習題

第15章擴散

練習題

第16章微閥

練習題

第17章微泵

練習題

第18章微量給料

第19章物理域的類比性

練習題

第20章機械電子器件

練習題

第21章壓力感測器

練習題

第22章流量感測器

練習題

第23章慣性感測器

練習題

參考文獻