微米納米工藝潔淨室特氣系統

微米納米工藝潔淨室特氣系統是一種用於電子與通信技術領域的工藝試驗儀器，於2013年7月18日啟用。

基本介紹

• 中文名：微米納米工藝潔淨室特氣系統
• 產地：中國
• 學科領域：電子與通信技術
• 啟用日期：2013年7月18日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備

技術指標

潔淨室特氣系統主要包括特氣供氣設備（氣瓶櫃、氣瓶架、分流箱和分流盤）、特氣監控系統（氣體檢測器、氣體監控控制箱、聲光報警、緊急開關、電腦工作站）、特氣輸送管道和尾氣處理系統（加熱水洗式尾氣處理器）等部分。

主要功能

為潔淨室的半導體加工設備，如ICP、氧化擴散爐、PECVD、磁控濺射儀、納米糰簇、光刻機、晶圓鍵合機等提供氣體需求。