微機電系統設計：建模

《微機電系統設計：建模》是2010年科學出版社出版的圖書，作者是盧桂章。

基本介紹

• 中文名：微機電系統設計：建模
• 作者：盧桂章
• 類別：電子與通信類圖書
• 出版社：科學出版社
• 出版時間：2010年10月01日
• 頁數：278 頁
• 開本：16 開
• 裝幀：平裝
• ISBN：9787030292209
• 版次：1

內容簡介

《微機電系統設計：建模、仿真與可視化》建立了一種微應多電子機械器件的設計方法，對現有設計系統功能作了一些重要的補充和完善，其基本思路是在設計階段，當版圖和工藝設計完成後，通過建立運動部件的動態模型，進行三維可視化仿真，形成器件在虛擬環境中運行，從而對器件的運動雄蜜簽簽功能進行評測。這種功能主要體現在：套用三維可視化技術得到器件加工後的三漿鴉說維享再循實體模型和進行可加工性驗證；對此實體模型進行動態建模，並進行虛擬運行，以考察其運動性能；建立基漏櫃戲於IP庫的設計系統，提供了一種自頂向下和自拜抹府底向上相結合的設計手段。系統是開放的，各種功能都有延伸發展的空間。　《微機電系統設計：建模、仿真與可視化》可供微電子機械設計人員參考使用，也可作為相關專業高年級本科生和研究生的專業課教材和學習參考書。

目錄

前言

第1章 緒論

1.1 MEMS發展歷史的簡要回顧

1.2 MEMS套用一瞥

1.2.1 感測微系統

1.2.2 微執行器

1.2.3 信息微系統

1.2.4 生物微系統

1.2.5 軍事用：MEMS器件

1.3 MEMS設計現狀概述

1.3.1 系統級仿真

1.3.2 器件級仿真

1.3.3 工藝級仿真

1.4 當前MEMS設計存在的問題及其解決途徑

1.4.1 MEMS與IC的差別及其對設計的影響

1.4.2 動態性能的建模仿真與虛擬運行

1.4.3 IP庫與虛擬工藝

1.4.4 關於設計方法學的一些思考

參考文獻

第2章 微機電系統工藝級仿真——虛擬工藝技術

2.1.虛擬工藝的一般概念棵慨享舟

2.1.1 MEMS的工藝仿真

2.1.2 什麼是虛擬工藝

2.1.3 虛擬工藝的兩種技術路線

2.2 微機電系統製造工藝

2.2.1 光刻

2.2.2 表面矽工藝

2.2.3 體矽工藝

2.2.4 鍵合工藝

2.2.5 LIGAX：藝

2.2.6 其他工藝

2.3 基於專家知識的工藝流程仿真

2.3.1 基於體塊模型的虛擬工藝

2.3.2 基於體素(voxel)模型的虛擬工藝

2.4 基於物理模型的MEMS工藝仿真

2.4.1 投影式光學光刻工藝仿真

2.4.2 DRIE2工藝仿真

2.5 小結

參考文獻

第3章 微機電系統的行為級仿真建模方法

3.1 基於機理的動態模型建模方法

3.1.1 微懸臂樑動力學模型

3.1.2 微加速度計的動態模型

3.1.3 微馬達的動態模型

3.2 基於系統辨識的動態模型建模方法

3.2.1 基於系統辨識的建模方法

3.2.2 基於系統辨識的建模方法的實施過程

3.2.1 基於系統辨識的建模方法

3.2.2 基於系統辨識的建模方法的實施過程