微機械工藝氣體處理系統

微機械工藝氣體處理系統是一種用於物理學領域的儀器，於2018年03月02日啟用。

基本介紹

• 中文名：微機械工藝氣體處理系統
• 產地：中國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2018年03月02日

技術指標

管道保壓測試，報警機制等。

主要功能

微機械工藝氣體處理系統用於反應離子刻蝕系統（RIE）和電漿增強化學沉積系統(PECVD)的工藝氣體供應以及危險尾氣處理（處理尾氣包括矽烷、氨氣和其它工藝廢氣）。