《微圖案化鈦酸鋇陶瓷薄膜的低溫製備及其性能》是依託浙江大學，由吳勇軍擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：微圖案化鈦酸鋇陶瓷薄膜的低溫製備及其性能
- 依託單位：浙江大學
- 項目負責人：吳勇軍
- 項目類別：青年科學基金項目
- 負責人職稱：教授
- 批准號：50602038
- 研究期限：2007-01-01 至 2009-12-31
- 申請代碼：E0206
- 支持經費：25（萬元）
項目摘要
本項目擬探索一種結合電子束刻蝕技術與納米顆粒電泳沉積技術、在低溫下製備微圖案化BaTiO3陶瓷薄膜的新方法，研究微圖案化BaTiO3陶瓷薄膜的性能、微結構和製備條件相互之間的關係。首先在製備粒徑可調的BaTiO3納米顆粒的基礎上研究單顆粒分散的納米顆粒懸浮液的製備。然後在用電子束刻蝕技術製得的具有微圖案化模板的Pt/Ti/SiOx/Si基板上電泳沉積微圖案化BaTiO3陶瓷薄膜。研究沉積過程中的控制因素（懸浮液體系和濃度、納米顆粒大小、電動電位、電場強度、沉積時間等）及燒結條件對微圖案化BaTiO3陶瓷薄膜的性能與結構的影響。本項目提出的低溫製備微圖案化BaTiO3陶瓷薄膜的新方法在製備其它微圖案化功能材料中也有著廣泛的套用前景，相關工作的展開具有重要的理論與實際意義，對相關微圖案化材料和器件的研究與發展有著很大的促進作用。
