《微/納機械器件的輻射損傷及其機理研究》是依託浙江大學,由金仲和擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名:微/納機械器件的輻射損傷及其機理研究
- 依託單位:浙江大學
- 項目負責人:金仲和
- 項目類別:面上項目
- 批准號:60476033
- 申請代碼:F0404
- 負責人職稱:教授
- 研究期限:2005-01-01 至 2007-12-31
- 支持經費:27(萬元)
項目摘要
本項目將致力於射線輻照對MEMS和NEMS器件的損傷的研究。以微/納諧振器為研究對象,研究射線輻照下器件電性能、力電藕荷、機械性能等的改變,以及性能改變與器件尺度之間的關係,並研究產生這些改變的原因,以理解損傷機理,為今後採取適當措施提高器件抗輻射能力提供理論依據。通過研究可以揭示出MEMS/NEMS器件抗輻射特性與電子器件的異同點,從而更深入地理解輻射對材料特性,特別是機械特性的影響。另外通過對輻射損傷機理的理解,以及一定的對比實驗,為今後研究MEMS和NEMS器件的抗輻射特性研究提供便利的實驗方法。通過項目研究,可以切實推進MEMS和NEMS器件進入航天領域的步伐。