強流大面積氣固混合脈衝離子源的研究

強流大面積氣固混合脈衝離子源的研究

《強流大面積氣固混合脈衝離子源的研究》是依託大連理工大學,由史維東擔任醒目負責人的面上項目。

基本介紹

  • 中文名:強流大面積氣固混合脈衝離子源的研究
  • 依託單位:大連理工大學
  • 項目類別:面上項目
  • 項目負責人:史維東
  • 負責人職稱:高級工程師
  • 批准號:19375009
  • 研究期限:1994-01-01 至 1996-12-31
  • 申請代碼:A2802
  • 支持經費:8(萬元)
項目摘要
研究了氣固混合放電原理,並研製出一台四組元氣固混合脈衝離子源。它能給出氣體離子、金屬離子及它們的混合離子。在不破壞真空的前提下能給出四組不同金屬和氣體混合離子。在陽極到高壓引出電極的漂移區,增加一軸向磁場,產生二次放電,對增加引出和束徑有一定影響。對於不同材料在不同引出電壓下,氣體和金屬放電弧流有一個最佳範圍。調整引出束流只需改變放電頻率即可,這樣能使引出電壓和放電弧流始終處於良好匹配狀態,即引出效果最好。引出束流在陰極尺寸確定後主要決定材料。引出束流可達15至20ma。四組元氣固混合源具有優良的性能,在推動離子束表面改性研究及工業套用起到一定作用。

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