平晶平面度檢測是對研磨後的器件平面採用平面度檢測儀定初步精度。
基本介紹
- 中文名：平晶平面度檢測
- FG-5檢測：120以內
- FG-7檢測：170以內
- FG-9檢測：220以內
平面度檢測
一、首先採用平面檢測儀器
如研磨後的器件達到5um以內可以用平晶進行檢測
未達到繼續研磨器件可以不用下盤。
FG-5檢測120以內
FG-7檢測170以內
FG-9檢測220以內
FG-30檢測650以內
二、達到5um以內用平面平晶體檢測
首先看是否有條紋。是否合格
以300的密封器件為例的。
檢測的整個面必須首先看到同心圓才合格
2um的面型精度整個面的同心圓條紋小於3個
1個同心圓條紋精度大於在0.8um
3個就是2.4um左右
也就是說必須是小於3個的同心圓條紋才合格。
N<3
三、以下是檢測中會出現的問題。
條紋非常密集。
兩種情況。1. 加工出得元件精度遠遠不夠。
2. 平晶和元件之間有異物灰塵沒處理乾淨
條紋非常亂
情況是加工的研磨盤凹凸不平不在一個平面上。元件研磨後整個面就是亂的、
同心圓條紋圈數太多。
情況是元件精度還不達標繼續研磨直到圓圈數少於3個。
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