《帶金屬膜的樹脂膜的製造裝置和製造方法》是住友金屬礦山株式會社於2019年9月20日申請的專利，該專利公布號為CN112930421A，專利公布日為2021年6月8日，發明人是大上秀晴。
基本介紹
- 中文名：帶金屬膜的樹脂膜的製造裝置和製造方法
- 授權公告號：CN112930421A
- 授權公告日：2021年6月8日
- 申請號：2019800712952
- 申請日：2019.09.20
- 申請人：住友金屬礦山株式會社
- 地址：日本東京都
- 發明人：大上秀晴
- 專利代理機構：隆天智慧財產權代理有限公司72003
- 代理人：陳曦; 向勇
- 優先權：2018-199073 2018.10.23 JP
- PCT進入國家階段日：2021.04.23
- PCT申請數據：PCT/JP2019/036977 2019.09.20
- PCT公布數據：WO2020/084974 JA 2020.04.30
國際專利分類號,專利摘要,
國際專利分類號
Int. Cl.
C25D5/34(2006.01)I; C23C14/14(2006.01)I; C23C14/56(2006.01)I; H05K3/18(2006.01)I; H05K3/26(2006.01)I; C25D5/56(2006.01)I
專利摘要
本發明提供一種在金屬種子層上通過濕鍍法形成的金屬膜不易產生針孔的帶金屬膜的樹脂膜的製造裝置和製造方法。本發明的帶金屬膜的樹脂膜的製造裝置的特徵在於，具備：長條樹脂膜放卷輥(600)，卷繞有使用真空成膜法成膜有金屬種子層的長條樹脂膜(601)，該長條樹脂膜(601)的層間夾入有長條襯紙(603)；長條襯紙收卷輥(602)，從由所述放卷輥(600)放卷的長條樹脂膜分離長條襯紙並將該長條襯紙收卷；濕鍍槽(642)～(645)，將分離了長條襯紙的長條樹脂膜搬入所述濕鍍槽並在該長條樹脂膜的金屬種子層上形成金屬膜；以及長條樹脂膜收卷輥(641)，將形成有金屬膜的長條樹脂膜收卷，對分離了長條襯紙的長條樹脂膜的金屬種子層表面進行洗滌的大氣壓電漿洗滌裝置設定在上述放卷輥(600)與濕鍍槽之間。
