工業級高可靠積體電路評價第11部分：壓力感測器

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本檔案適用於絕壓感測器、負壓感測器、差壓感測器、表壓感測器等半導體壓力感測器的鑑定驗收和評價檢測活動。

本檔案規定了工業級高可靠的壓力感測器檢測驗的檢測要求、檢測方法和檢驗規則等。