射頻MEMS開關的失效機理及其高可靠長壽命實現技術

射頻MEMS開關的失效機理及其高可靠長壽命實現技術

《射頻MEMS開關的失效機理及其高可靠長壽命實現技術》是依託廈門大學,由陳旭遠擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

  • 中文名:射頻MEMS開關的失效機理及其高可靠長壽命實現技術
  • 項目類別:面上項目
  • 項目負責人:陳旭遠
  • 依託單位:廈門大學
  • 批准號:50575191
  • 申請代碼:E0512
  • 負責人職稱:教授
  • 研究期限:2006-01-01 至 2008-12-31
  • 支持經費:27(萬元)
項目摘要
RF MEMS 開關是具有廣泛套用前景、最基礎的微致動控制器件之一。國內、外學者的諸多套用研究結果均已表明了RF MEMS開關具有無與倫比的系統集成特點和出色的工作性能;但是,如何實現其高可靠性及長壽命這一問題仍然是RF MEMS開關大規模商品化的瓶頸。本項目將以靜電吸附失效機理的理論模型研究為基礎,探索RF MEMS開關早期失效的解決方案。以學術界尚不十分明確的RF MEMS 開關電介質層中電荷積累和弛豫機理作為本項目的理論攻堅;研究具有快速電荷馳豫機理的微納米複合介質膜;探索微納米層表面改性技術,設計低損耗多層內埋放電機制層介質結構;開發新設計和新工藝,創製微致動件工作微環境;設計靜電調製波形,新型密封技術,為研製用於我國高技術領域的高可靠性、長壽命的RF MEMS開關器件提供理論支撐和技術積累。

相關詞條

熱門詞條

聯絡我們