《射頻電漿物理學》是2015年科學出版社出版的圖書，作者是[法]帕斯卡·夏伯特、[英]尼古拉斯·布雷斯韋。
《射頻電漿物理學》是2015年科學出版社出版的圖書，作者是[法]帕斯卡·夏伯特、[英]尼古拉斯·布雷斯韋。內容簡介本書針對微電子工業中的材料處理工藝（如半導體晶片加工），介紹有關的的低氣壓射頻電漿的產生方法及物理...
射頻和微波波譜學是通過射頻或微波電磁場與物質的共振相互作用，研究物質的性態、結構和運動的物理學分支學科，簡稱波譜學。它研究的對象可以是原子、分子及其凝聚態，也可以是中子、質子、電子、原子核和電漿等。實驗觀察既可以在穩定...
射頻電漿高能球化系統是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2014年3月27日啟用。技術指標 球形二氧化矽粉體與角形粉體相比具有流動性好、堆積密度大、均勻性好等優點,在各領域的生產中發揮著越來越重要的作用。RF（射頻...
1)學習射頻等 離子體的放電原理，掌握射頻電漿的產生步驟及操作技巧，使學生能夠套用電漿放電原理分析影響晶片刻蝕不均勻性的物理，原因，加強學生理論與實際套用相結合的能力; .2)掌握電漿探針診斷用到的微波共振原理，深刻理解...
本項目探索使用以寬禁帶碳化矽為絕緣襯底材料，通過射頻容性和感性耦合電漿源，對富含氟的氣體放電產生氟電漿基團刻蝕碳化矽表面製備石墨烯，同時研究石墨烯的物理性質。通過調整電漿放電參量、基片溫度（或熱處理溫度）等製備工藝...
“電漿”這門近代物理學始創於二十世紀五十年代，作為迅速發展的新興學科其低溫電漿、冷電漿、熱電漿技術已廣泛套用於醫學、電子、工業、軍事及日常生活等眾多領域。低溫電漿的產生及與普通射頻的區別：在高溫或強電場的...
本書是為具有大學物理學本科基礎，並對電漿物理學有初步了解的讀者學習電漿理論而寫的。目錄 第一部分 磁流體力學 第一章 磁流體力學方程組及其基本性質 1.1 磁流體力學（MHD）描述及其適用條件 1.1.1 磁流體描述 1.1....
微波和射頻波譜學，藉助微波或射頻輻射場與物質的相互作用來研究物質的性態、結構和運動的物理學分支學科。研究對象可以是原子、分子和由它們所組成的凝聚態物質，也可以是離子、電子、原子核和電漿。這一學科分支研究的主要內容包括:...
在射頻電漿物理前沿基礎研究方面取得了一些創新性的研究成果，如實驗上首次觀察到電負性射頻電漿中的“輝光條紋”現象，該研究結果以第一作者發表在物理學頂級國際期刊Physical Review Letters上。此外，負責人先後在國內外學術會議上做...
這種新技術的主要原理就是在飛機周圍形成一種特殊的電漿，從而不需要改變飛機的外形機構。飛機裝上這個系統後, 探測雷達的有效區將減小到“不及原來的1/100” ，使飛機被雷達發現的機率幾乎下降到零。電漿物理學是在50年代迅速...
微波量子物理學主要包括微波波譜學、微波磁學、微波電漿物理學、微波超導技術、微波聲學和微波半導體物理學。微波波譜學 第二次世界大戰之後，在利用軍用微波設備研究原子、分子、原子核及固體波譜中的精細和超精細結構時，人們發現某些...
