太赫茲超導探測器研製平台

太赫茲超導探測器研製平台是一種用於天文學領域的工藝試驗儀器，於2017年6月20日啟用。

基本介紹

• 中文名：太赫茲超導探測器研製平台
• 產地：中國
• 學科領域：天文學
• 啟用日期：2017年6月20日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電路板製造工藝實驗設備

技術指標

FSE/ICP。

主要功能

包含有磁控濺射儀、離子刻蝕機、掩膜對準光刻機、鍵合機。