大規模積體電路的未來技術

《大規模積體電路的未來技術》是1988年科學出版社出版的圖書，ISBN是7030004140。

基本介紹

• 中文名：大規模積體電路的未來技術
• 出版時間：1988年08月
• 出版社：科學出版社
• ISBN：7030004140

內容簡介

本書介紹了多晶矽薄膜、半絕緣多晶矽薄膜及金屬矽化物的生長技術和生成機理;利用光致發光法評價矽晶體性能的技術，以及大規模積體電路的微細加工技術等。

圖書目錄

目錄

第一章 微細器件存在的問題

第二章 多晶矽和半絕緣多晶矽

第三章 金屬矽化物的生成與存在的問題

第四章 利用光致發光法評價矽晶體的性能

第五章 乾法工藝

第六章 等離子化學汽相澱積技術

第七章 低能量化的系統大規模積體電路

第八章 今後的抗蝕劑材料

第九章 今後的曝光技術