《多層複合PZT鐵電薄膜的抗疲勞特性及其機理研究》是依託中山大學，由包定華擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：多層複合PZT鐵電薄膜的抗疲勞特性及其機理研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：包定華
- 依託單位：中山大學
- 支持經費：30（萬元）
- 研究期限：2006-01-01 至 2008-12-31
- 負責人職稱：教授
- 申請代碼：A2006
- 批准號：10574164
中文摘要
鐵電薄膜的極化疲勞特性及相關機理研究是鐵電薄膜存儲器套用需要解決的關鍵問題。本項目研究多層複合Pb(Zr,Ti)O3(PZT)鐵電薄膜的抗疲勞特性及其機理。採用脈衝雷射沉積（PLD）和化學溶液沉積（CSD）方法製備這種複合PZT鐵電薄膜，研究薄膜的微結構及介電、鐵電和極化疲勞特性；研究膜層與膜層、膜層與鉑電極（或氧化物電極）之間的界面特性、界面反應、成分分布，通過多層膜的構築設計、工藝參數最佳化等方法，得到自發極化強度較高、漏電流密度較低且極化疲勞特性良好的多層複合PZT鐵電薄膜；研究升降溫過程中空間電荷的分布及其對極化疲勞特性的影響，研究不同的界面以及不同的電極結構對極化疲勞的影響，從而深入認識鐵電薄膜的極化疲勞機理。本課題將為開發高性能複合鐵電薄膜材料及研製新一代鐵電存儲器件提供科學依據，為設計製備其它複合功能薄膜提供良好的科學積累。
