外延系統是一種用於物理學領域的工藝試驗儀器，於2009年9月10日啟用。
基本介紹
- 中文名：外延系統
- 產地：中國台灣
- 學科領域：物理學
- 啟用日期：2009年9月10日
- 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電路板製造工藝實驗設備
技術指標,主要功能,
技術指標
真空優於1x10-6Pa，樣品溫度-150℃到850℃。
主要功能
生長有機、金屬和磁性氧化物薄膜。
外延系統
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