壓升率

壓升率是指整個真空室體不抽真空時單位時間內壓強升高的差值，可以定義為：

其中，M為壓升率，Δp為Δt時間內壓強的增加值。該物理量是反映真空系統性能的重要指標，壓升率過高，意味著有大量的雜質氣體進入系統。

基本介紹

• 中文名：壓升率
• 外文名：Pressure Rise Rate
• 本質：反映真空系統性能的重要指標

壓升率概述

壓升率是反映真空設備保持真空的能力。它的測量方法是：在真空系統中，達到一定真空的狀態下，停掉所有抽真空設備，在乾淨、冷態、空載的狀態下在t1和t2的兩個時間點測得真空度為P1和P2的兩個值，壓升率=P2-P1/t2-t1，P的單位為Pa，t的單位為小時，所以壓升率的單位為Pa/h。

我國的標準是1.33Pa/h，國外多是0.67Pa/h。

影響真空系統壓升率的因

影響真空系統壓升率的因素大致可以分為兩類 ，

一類是外界氣體由於各種原因而進入真空系統 ，

另一 類是真空系統內部各種結構材料表面的出氣。

壓升率可以表示為：

M0表示外界氣體的影響 ,Mi 代表真空系統內部不同材料表面出氣造成壓升率的增加 。