《壓力感測器的設計製造與套用》是冶金工業出版社出版的圖書。本書分三部分講解了壓力感測器的設計製造與套用的相關知識。
基本介紹
- 中文名：壓力感測器的設計製造與套用
- 出版社：冶金工業出版社
- ISBN：7502424008
- ASIN：B0011A7R5E
基本信息,內容簡介,目錄,
基本信息
出版社: 冶金工業出版社; 第1版
平裝ISBN: 7502424008
條形碼: 9787502424008
ASIN: B0011A7R5E
內容簡介
本書分三大部分。第一部分介紹壓阻型壓力感測器的原理、彈性力學應力計算及晶片版圖設計，並簡要的討論了晶體的能帶結構及物理性質。第二部分以生產實踐為主，介紹從矽片製備、半導體工藝、微機械加工到晶片封接與引線。第三部分介紹壓力感測器的技術特性、選用及各種熱漂移補償技術、信號調理電路，又以足夠的篇幅介紹微型單片機原理及壓力感測器在實際領域中的套用和其他種類的感測器。
本書適用於從事壓力感測器研究和生產的工程技術人員閱讀，也可供大專院校師生參考。
目錄
第一章 晶全及其能帶結構
第一節 空間點陳和晶體結構
第二節 晶體的能帶結構
第三節 晶體的物理常數及其坐標變換
參考文獻
第二章 壓力感測器的基本原理
第一節 單晶矽的壓阻效應
第二節 擴散矽的壓阻效應
第三節 多晶矽的壓阻效應
附錄 任意晶向壓阻係數的計算
參考文獻
第三章 壓力感測器中承壓彈性膜的應力計算
第一節 彈性力學基礎
第二節 承壓彈性薄膜的應力分析
第三節 壓力感測器彈性膜二維有限元法的應力計算
第四節 壓力感測器三維有限無法應力計算簡介
參考文獻
第四章 壓力感測器晶片版圖設計
第一節 合理利用壓阻係數
第二節 力敏電阻條的設計
第三節 二極體與三極體的設計
第四節 失效與可靠性問題
參考文獻
第五章 壓力感測器的襯底製備
第一節 矽單晶片拋光的基本原理
第二節 襯底片的清洗
第三節 外延工藝原理
第四節 矽—矽鍵合工藝原理
參考文獻
第六章 壓力感測器的管芯製備
第一節 氧化膜的製備
第二節 擴散工藝原理
第三節 光刻工藝原理
參考文獻
第七章 矽壓力感測器的微機械加工
第八章 壓力感測器的封裝
第九章 壓力感測器的引線
第十章 壓力感測器的技術性能與選用
第十一章 壓力感測器的熱漂移及其補償技術
第十二章 壓力偉感器的信號調理
第十三章 壓力付感器的智慧型化技術
第十四章 其他種類壓力感測器
第十五章 壓力感測器的套用
附錄
