《基於SPM及MEMS技術的薄膜力學性能測試方法研究》是依託北京理工大學，由李直擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：基於SPM及MEMS技術的薄膜力學性能測試方法研究
- 依託單位：北京理工大學
- 項目負責人：李直
- 項目類別：青年科學基金項目
- 批准號：10502008
- 申請代碼：A0805
- 負責人職稱：副教授
- 研究期限：2006-01-01 至 2008-12-31
- 支持經費：28（萬元）
項目摘要
研究一種基於微拉伸（micro-tensile）原理的薄膜力學性能測試方法，以單層及多層自由（free-standing）薄膜為測試對象，以MEMS致動器為載入部件，應變則由掃描探針顯微鏡（SPM）實時在位測得。藉由微應力及微應變的高解析度高精度測量，該方法能夠大大提高薄膜材料力學性能測試的解析度和精度。同時，該方法獲得的微觀材料軸向應力－應變關係數據，可以對其它薄膜力學性能測試方法，特別是現有的大量使用的商用納米壓痕儀/硬度計、雷射聲波測試儀等進行校準、標定和進一步開發。可以預計，本項目的開展，對改善薄膜質量控制，進而提高我國當前MEMS及其它微納米元件的設計與製造水平起到良好的推動作用。
