《基於PLZT薄膜的光學相位調製器陣列關鍵技術的研究》是依託中國科學院上海光學精密機械研究所，由瞿榮輝擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：基於PLZT薄膜的光學相位調製器陣列關鍵技術的研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：瞿榮輝
- 依託單位：中國科學院上海光學精密機械研究所
- 批准號：60577036
- 申請代碼：F0502
- 負責人職稱：研究員
- 研究期限：2006-01-01 至 2008-12-31
- 支持經費：25（萬元）
項目摘要
本項目主要是通過對PLZT陶瓷薄膜材料電光效應的特性和機理的研究，根據光學相控陣的基本原理，設計一種基於PLZT薄膜的光學相位調製器陣列，解決調相器列陣製備的關鍵技術，並對器件特性和機理進行測試分析，為發展波導型、寬波段、高速回響、低工作電壓的光學相控陣提供科學依據和技術基礎。主要研究內容包括對PLZT陶瓷薄膜光學相關特性的研究，PLZT薄膜相位調製器陣列設計及製備工藝的探索，波導陣列和電極結構的設計加工及最終的原型器件測試等。項目旨在跟蹤國際前沿，對PLZT陶瓷薄膜器件及波導陣列的設計、集成和製備工藝進行有益探索，為PLZT陶瓷薄膜材料的進一步改善、最佳化和套用推廣提供有益的數據和實驗反饋支持，並為國防科學技術、超快光子學科學研究和技術套用提供新型光子元器件和新的單元技術。
