《基於MEMS技術的微型化寬頻天線研究》是吳文剛於2013年8月26日編制的科技報告。
基本介紹
- 中文名：基於MEMS技術的微型化寬頻天線研究
- 作者： 吳文剛
- 編制時間：2013年8月26日
- 報告類型：最終報告
內容摘要
深入研究並開發了可用於加工在片微型天線的關鍵MEMS/NEMS工藝技術，包括FIB應力引入致形變技術等，為在片微型天線的可靠加工提供了技術基礎。工藝實踐表明，FIB應力引入致形變技術和其它MEMS/NEMS工藝技術，有很好的可控性和可重複性，加工製備出了多種微型結構，包括三維螺旋結構、背靠背喇叭結構等，這些結構可以作為在片天線結構。另一方面，開展了基於MEMS/NEMS工藝的毫米波、太赫茲波微型寬頻天線的結構和理論研究，針對一定的MEMS/NEMS工藝，針對多款片上微型天線結構，如片上螺旋天線和片上喇叭天線，完成了三維電磁場仿真，比較深入地探討了天線饋電結構對天線性能的影響。此外，還針對毫米波頻段微型寬頻天線的特性，設計了基於印刷電路板(Printed Circuit Board，簡稱PCB) 工藝的喇叭天線、串聯天線陣以及梯齒對數周期天線等微型寬頻天線結構，並加工製作出可供測試的樣品，研究了這些微型天線與射頻系統的接口問題。
