《基於AFM金剛石微探針的納米加工機理研究》是依託哈爾濱工業大學，由孫濤擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：基於AFM金剛石微探針的納米加工機理研究
- 依託單位：哈爾濱工業大學
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：孫濤
- 負責人職稱：教授
- 批准號：50575058
- 研究期限：2006-01-01 至 2008-12-31
- 申請代碼：E0509
- 支持經費：27（萬元）
項目摘要
為製造高精度納米尺度零件或三維納米結構，必須進行多種材料的納米加工機理研究。本項目針對單晶及多晶金屬材料的納米加工問題，運用新型分子動力學計算方法，採用大容量並聯計算機，進行三方向納米加工過程的仿真計算，並研究三維加工中原子去除規律、表面形貌成因、針尖磨損等理論與技術，建立相應的理論模型。利用帶有金剛石針尖的原子力顯微鏡(AFM)及其相應的輔助系統，進行納米加工實驗驗證。由於採用AFM加工，其獲得的納米尺度的原子加工數量，可以接近於分子動力學理論計算的量級，使理論結果可以通過實際加工進行驗證，可以解決前人只計算而不能實驗驗證的瓶頸問題。同時，研究並解決針尖懸臂系統的彈性動力學問題及依據AFM儀器的可操控性，調節針尖懸臂系統與樣品間的力，能夠進行加工過程的原位測量，實現所設計的納米結構加工。基於AFM金剛石針尖的納米加工研究成果，為未來多種材料納米器件、納米結構的加工提供理論基礎。
