固體材料形貌與組成分析掃描電鏡是一種用於能源科學技術、材料科學領域的分析儀器，於2017年7月25日啟用。
基本介紹
- 中文名：固體材料形貌與組成分析掃描電鏡
- 產地：德國
- 學科領域：能源科學技術、材料科學
- 啟用日期：2017年7月25日
- 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
· 解析度: 0.8nm at 15 kV; 1.6 nm at 1 kV (標準模式，無特殊模式) · 加速電壓範圍: 0.02 to 30 kV · 最大電子束束流: 20nA · 電子束校準：電磁對中 · 工作距離範圍：1 – 50 mm · 鏡筒內高效率環形In-lens高分辨二次電子探測器 · 樣品室內Everhart-Thornley式二次電子探測器，-250 to +400 V可調偏壓 ·放大倍數可調範圍: 10 – 1.000.000x ·探測器及其解析度：矽漂移（SDD）電製冷探測器，有效視窗面積30mm2，超薄窗設計，能量解析度在100,000CPS條件下Mn Ka保證優於129eV； ·元素分析範圍：Be4～Am95； ·能譜儀處理單元與計算機採用分立式設計，單探測器輸出最大計數率優於600,000CPS，可處理最大計數率優於1,500,000CPS。
主要功能
Sigma 500是一台通用的高性能場發射掃描電子顯微鏡，具有全自動控制的機械泵+分子泵+離子泵的抽真空系統、具有專利的GEMINI鏡筒技術的電子光學系統、超大樣品室和五軸馬達驅動優中心樣品台、包括BSD（高性能背散射電子探測器）、SE（樣品室二次電子探測器）和In-lens（鏡筒內安裝的二次電子探測器）的完整的檢測系統（CDS）、數字圖像存儲與處理功能以及能譜元素分析功能。
