吹洗專用鋼瓶

吹洗專用鋼瓶dedicated purge y}aa cylindrr }r }]於吹洗系統和管路的鋼瓶。

吹洗系統通常用氮氣、氫氣。有時也用氦氣或其他氣體。在半導體廠充裝這類氣體的鋼瓶,通常放在氣瓶櫃側面,與氣瓶櫃內的吹洗系統相連.川於供應吹洗用氣體。

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