含表面活性劑的清洗工藝對矽片表面的影響

《含表面活性劑的清洗工藝對矽片表面的影響》是依託山東大學,由曹寶成擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

  • 中文名:含表面活性劑的清洗工藝對矽片表面的影響
  • 項目類別:面上項目
  • 項目負責人:曹寶成
  • 依託單位:山東大學
  • 批准號:60176032
  • 申請代碼:F0406
  • 研究期限:2002-01-01 至 2002-12-31
  • 支持經費:5(萬元)
  • 負責人職稱:教授
中文摘要
用我們研製的含表面活性劑的清洗液和清洗工藝清洗矽片。套用原子力顯微鏡和X射線光電悠椎確治鮁芯抗燙灞礱嫘蚊病⒈礱婧徒緱嫻繾詠峁辜盎Ъ⑻逑檔奈⒐勱峁褂牒旯畚鍩匭災淶畝雜叵怠L剿鞅礱婊鈽約獵詮杵礱嫻撓璐碇卸員≌iO2特性的影響,蠊婺<傻緶飯ひ罩行∮?納米的超薄柵氧化膜的製備提供必要的技術方法和理論依據。

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