向小健

向小健

向小健,男,本科畢業於東北大學機械工程與自動化系,博士畢業於上海交通大學微納電子系電子科學與技術專業,清華大學/深圳清華大學研究院博士後。現任深圳清華大學研究院超滑技術研究所 副所長/副主任研究員,深圳清力技術有限公司首席技術官CTO(副)。

基本介紹

研究方向,

研究方向

一直從事微機電系統(MEMS)方面的研究工作,致力於RF MEMS射頻開關、結構超滑MEMS器件、MEMS靜電執行器、MEMS慣性開關、能量採集器等器件的設計、仿真、製造和測試等研究工作,已在本領域知名期刊(IEEE JMEMS、APL、IEEE EDL等)上發表20餘篇相關論文,同時擔任SMS、JMM等期刊審稿人

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