可再現性

在一定時間周期內，在改變測量條件下，依次對同一個被測量圖形進行測量所得到的平均測量值變化。

基本介紹

• 中文名：可再現性
• 外文名：reproducibility

測量條件是指：測量原理、測量方法、測量儀表、參考標準、場地和觀測者等。測量圖形時的步驟，每次按照相同的裝片、晶片對準、工作檯移動到測量位置、定位測量圖形、測量及卸片等操作過程所獲得的圖形寬度測量值應吻合一致。