半導體積體電路製造業晶圓綠色工廠評價要求

《半導體積體電路製造業晶圓綠色工廠評價要求》是2020年06月20日實施的一項行業標準。

基本介紹

• 中文名：半導體積體電路製造業晶圓綠色工廠評價要求
• 外文名：Assessment requirements for green factory in semiconductor integrated circuit manufacturing － Wafer
• 標準編號：T/CESA 1081—2020
• 發布日期：2020年06月20日
• 實施日期：2020年06月20日

起草人

李胡升、馬傳輝、洪洋、楊檬、楊宇濤、陽平、宋英華、聞洪春、趙立華、劉果果、黃明燕、趙麗華。

起草單位

中國電子技術標準化研究院、北京賽西認證有限責任公司、中芯北方積體電路製造（北京）有限公司、中國電子信息產業發展研究院、中芯國際積體電路製造(天津)有限公司、施耐德電氣（中國）有限公司上海分公司。

適用範圍

本標準適用於對具有晶圓大小為8英寸或12英寸的半導體積體電路晶圓產品實際生產過程的工廠進行評價，其他類型積體電路產品生產製造工廠也可參考使用。

技術內容

本標準規定了半導體積體電路製造業　晶圓　綠色工廠評價（以下簡稱“評價”）的原則、方法、指標體系及要求、程式等。