半導體特性分析測試系統

半導體特性分析測試系統是一種用於物理學領域的工藝試驗儀器，於2016年11月25日啟用。

基本介紹

• 中文名：半導體特性分析測試系統
• 產地：中國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2016年11月25日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備

技術指標

高精度和亞fA的解析度。

主要功能

分析半導體特性。