半導體工藝與測試實驗

半導體工藝與測試實驗

《半導體工藝與測試實驗》是2015年科學出版社出版圖書,作者是謝德英,陳暉,黃展雲,陳軍。

基本介紹

  • 書名:半導體工藝與測試實驗
  • 作者:謝德英,陳暉,黃展雲,陳軍
  • 出版社:科學出版社
  • 出版時間:2015年3月
  • ISBN:9787030436467
內容簡介,圖書目錄,

內容簡介

本書內容包括半導體工藝的6個主要單項實驗、半導體材料特性表征與器件測試實驗、工藝和器件特性仿真實驗,並通過綜合流程實驗整合各單項實驗知識和技能,著重培養學生的半導體器件的綜合設計能力。

圖書目錄

封面
編委會
半導體工藝與測試實驗
內容簡介
前言
第1章 緒論
第2章 半導體工藝實驗
第3章 半導體材料與器件特性表徵實驗
第4章 綜合實驗
參考文獻
封底

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