《半導體光譜測試方法與技術》是2016年科學出版社出版的圖書，作者是張永剛、顧溢、馬英傑。
基本介紹
- 中文名：半導體光譜測試方法與技術
- 作者：張永剛,顧溢,馬英傑
- ISBN：9787030472229
- 出版社：科學出版社
- 出版時間：2016-01
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
本書在回顧光譜學和光譜儀器的發展過程後，對半導體中涉及的主要光學過程以及半導體材料、器件及套用研究中需要哪些光譜分析手段和方法作了簡要介紹，然後以分光（色散）和傅立葉變換兩種方法為基礎討論了光譜分析的基本原理、測試儀器、關鍵部件、系統構成以及限制因素等，並結合一系列測量實例對吸收譜類、光電譜類和發射譜類測量方法與技術及相關細節進行了詳細說明。此外，本書還對半導體研究中涉及的一些拓展的光譜分析方法（如拉曼光譜、微區光譜、掃描成像光譜、時間分辨瞬態光譜及調製光譜等）也結合實例進行了介紹。
圖書目錄
前言
第1章光譜學和光譜儀器的發展概況
第2章半導體中的光學過程
第3章半導體研究中的光譜測試需求
第4章分光光譜儀的組成部件及測量系統
第5章傅立葉變換光譜儀及其組成部件和測量系統
第6章透射、吸收與反射光譜測量方法及實例
第7章光電光譜測量方法及實例
第8章發射光譜測量方法、實例及綜合測量系統
第9章拉曼光譜測量方法及實例
第10章微區及掃描成像光譜測量方法及實例
第11章時間分辨光譜測量方法及實例
第12章調製光譜測量方法及實例
結束語
漢英對照索引
《半導體科學與技術叢書》已出版書目
彩圖
