化學氣相沉積碳基硬質薄膜的力學與摩擦學性能，外文題名
Mechanical and tribological properties of hard carbon-based films synthesized by chemical vapor deposition，論文作者齊軍著
基本介紹
- 中文名：化學氣相沉積碳基硬質薄膜的力學與摩擦學性能
- 作者：齊軍
副題名
導師
溫詩鑄教授指導
學科專業
機械設計與理論
學位級別
d 2001n
學位授予單位
清華大學
學位授予時間
2001
關鍵字
金剛石薄膜 化學氣相沉積 碳基硬質薄膜 摩擦學
館藏號
TQ164
唯一標識符
108.ndlc.2.1100009031010001/T3F24.012002678871
館藏目錄
2002\TQ164\14
