西安勵德微系統科技有限公司（LeadMEMS Sci&Tech）創辦於2010年10月，是由西北工業技術研究院和陝西省微/納米系統實驗室共同投資成立，是以MEMS微機電系統為開發方向的高科技企業，公司擁有專業穩定的研發團隊（本科以上學歷占比為72%），同時實驗室擁有無塵室700平方米，各類微加工設備40餘台，總值三千萬元，具備多種微加工和微器件的靜態、動態性能測試能力。
基本介紹
- 公司名稱：勵德微系統科技有限公司
- 外文名：LeadMEMS Sci&Tech
- 成立時間：2010年10月
- 經營範圍：軟體開發
- 公司性質：民營
公司目前已開發成功了廣受好評的泛結構化MEMS集成設計工具軟體，打破了國外產葛廈驗閥品壟斷。公司目前在微型掃描鏡以及微型光柵方面取得了國內領先地位，公司還可以提供MEMS的加工技術服務，熱譽葛工藝機構設計以及悼拔槓定MEMS結構版圖悼拔判繪製諮詢
公司對外提供的MEMS工藝服務包括：單面光刻/雙面光刻，矽-玻璃陽極鍵合，KOH/TMAH濕法腐蝕，乾/濕禁碑地法氧化，多晶矽/氮化矽/二氧化矽低壓化學氣相沉積（LPCVD），多晶矽/氮化矽/二槳捉抹氧化矽反應離子刻蝕（RIE），矽深槽刻蝕（DRIE），化學機械拋光（CMP），快速熱退火（RTA），劃片，平行縫焊，台階測試，表面輪廓測試，雷射都卜勒測試，方塊電阻測試，IV測符踏試，CV測試等。
