加速度計感測器晶片探針系統

加速度計感測器晶片探針系統是一種用於電子與通信技術領域的電子測量儀器，於2017年3月31日啟用。

基本介紹

• 中文名：加速度計感測器晶片探針系統
• 產地：日本
• 學科領域：電子與通信技術
• 啟用日期：2017年3月31日
• 所屬類別：電子測量儀器 > 大規模積體電路測試儀器

技術指標

綜合精度：3.6um適用晶圓尺寸：8英寸、12英寸溫度範圍：常溫 ～ 150℃X/Y軸最大速度：500mm/sec。

主要功能

可以提供OCR 標識自動識別，高低溫機械走步，兼容12 英寸/8 英寸晶圓，可以提供晶圓級高溫測試。