刻蝕機用矽電極及矽環

《刻蝕機用矽電極及矽環》是2023年2月1日開始實施的一項中國國家標準。

基本介紹

• 中文名：刻蝕機用矽電極及矽環
• 外文名：Silicon electrode and silicon ring for plasma etching machine
• 標準類別：產品
• 標準號：GB/T 41652-2022

編制進程

2022年7月11日，《刻蝕機用矽電極及矽環》發布。

2023年2月1日，《刻蝕機用矽電極及矽環》實施。

起草工作

主要起草單位：有研半導體矽材料股份公司、山東有研半導體材料有限公司、新美光（蘇州）半導體科技有限公司、浙江海納半導體有限公司。

主要起草人：庫黎明、孫燕、閆志瑞、張果虎、夏秋良、潘金平。