分子束外延儀

分子束外延儀是一種用於物理學、電子與通信技術領域的工藝試驗儀器，於2010年12月14日啟用。

基本介紹

• 中文名：分子束外延儀
• 產地：法國
• 學科領域：物理學、電子與通信技術
• 啟用日期：2010年12月14日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

1、真空度指標 常溫真空：5*10-10 torr 液氮真空：1*10-10 torr 2、襯底溫度： RT-1000oC （600 oC時，精度±3 oC） 3、源溫度： ① ADDON MHT-35: 1700 oC (精度±0.5 oC) ② ADDON MHT-35: 1700 oC (精度±0.5 oC) ③ ADDON MIC-19: 1350 oC (精度±0.5 oC) ④ ADDON MIC-19: 1350 oC (精度±0.5 oC) ⑤ ADDON CF-35: 1100 oC (精度±0.5 oC)。

主要功能

是一種半導體氧化物外延薄膜的生長設備。套用於鐵電、鐵磁氧化物材料薄膜及其多層膜（如：超晶格、隧道結）的製備。