冷鏡式精密露點儀，利用熱電製冷器冷卻露點感測器的鏡面或聲表面波器件，使氣體中的水蒸氣在露點感測器的鏡面上冷凝為露或霜，光電系統自動控制平衡，使鏡面上的露或霜與氣體中的水蒸氣呈相平衡狀態，用鉑電阻溫度計準確測量鏡面上露層或霜層的溫度，從而獲得氣體的露點溫度。
冷鏡式精密露點儀（Chilled-mirror dew-pointhygrometer）
冷鏡式精密露點儀，利用熱電製冷器冷卻露點感測器的鏡面或聲表面波器件，使氣體中的水蒸氣在露點感測器的鏡面上冷凝為露或霜，光電系統自動控制平衡，使鏡面上的露或霜與氣體中的水蒸氣呈相平衡狀態，用鉑電阻溫度計準確測量鏡面上露層或霜層的溫度，從而獲得氣體的露點溫度。