基本介紹
- 中文名:六氟乙烷
- 英文名:Hexafluoroethane
- 別稱:全氟乙烷、R116製冷劑
- 化學式:C2F6
- 分子量:138.01
- CAS登錄號:76-16-4
- EINECS登錄號:200-939-8
- 熔點:-100.6℃
- 沸點:-78.2℃
- 水溶性:0.0015%
- 密度:5.734 kg·m-3 (24℃)
- 外觀:無色無臭氣體
- 閃點:無意義(不燃)
- 套用:用作絕緣氣、等離子蝕刻劑,高介電強度冷卻劑
- 危險性符號:N
- 危險性描述:對環境有害
- 危險品運輸編號:UN 2193 2.2
六氟乙烷(hexafluoroethane),又稱全氟乙烷,是乙烷中六個氫原子全部被氟原子取代後的產物,是鹵代烴(化學式:C2F6),亦是烴類化合物乙烷所對應的全氟化合物,是一...
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第68章環氧乙烷370第69章乙硫醇376第70章氟381第71章鍺烷387第72章四氟化鍺392第73章氦397第74章庚烷403第75章六氟丙酮409第76章六氟乙烷415...
氙氪氖氟氧多組分混合氣、一氧化碳氫氮氬氪氙氪氖二氧化碳多組分混合氣、液氨、四氟甲烷、六氟乙烷、 六氟丙烯、二氯一氟甲烷、二氯四氟乙烷、三氯一氟甲烷、...
所包括的氣體品種有一氧化二氮,二氧化碳,三氟甲烷,三氟氯甲烷,三氟溴甲烷,六氟乙烷,六氟化硫,氙,氯化氫,乙烷,乙烯,1,1-二氟乙烯,矽烷,磷烷,氟乙烯,乙硼烷...
乾法蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體,通常多為氟化物氣體,例如四氟化碳,三氟化氮,六氟乙烷,全氟丙烷,三氟甲烷等。乾法蝕刻由於蝕刻方向性強,工藝控制精確,方便,無脫膠...