全自動研磨機

全自動研磨機是一種用於電子與通信技術領域的工藝試驗儀器，於2012年3月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：全自動研磨機
• 產地：中國
• 學科領域：電子與通信技術
• 啟用日期：2012年3月1日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備

技術指標

研磨晶圓直徑75-200m速度範圍0.0001-5/Sec金剛石磨輪20mm。

主要功能

FBAR濾波器開發與套用。