光電子顯微鏡是一種用於材料科學領域的分析儀器,於2011年5月24日啟用。
基本介紹
- 中文名:光電子顯微鏡
- 產地:中國
- 學科領域:材料科學
- 啟用日期:2011年5月24日
- 所屬類別:分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
Focus PEEM的電子光學系統包括三級靜電透鏡系統,結合精心設計的消像散器/偏轉模組,使得Focus PEEM具有極高的空間解析度。 1.符合VT-SPM UHV系統工作條件及安裝要求 2.橫向解析度優於40nm 3.分析區域的尺寸連續可調,最小分析區域直徑5微米,最大分析區域直徑600微米 4.儀器面板操作控制或計算機軟體控制 5.計算機數據採集、處理,最高12.5幅/秒採集速度 6.可選配集成樣品台,提供高的穩定性和定位精度以及信噪比 7.樣品可加熱至約2000度。
主要功能
通過觀察樣品表面發射的電子,可以獲得極高解析度的表面形貌、化學成分和磁性信息(橫向解析度最高可達到40nm)。