《光電子顯微圖象相關分析與重構位移場》是依託東南大學,由徐鑄擔任項目負責人的重點項目。
基本介紹
- 中文名:光電子顯微圖象相關分析與重構位移場
- 項目類別:重點項目
- 項目負責人:徐鑄
- 依託單位:東南大學
- 批准號:19232023
- 申請代碼:A0812
- 負責人職稱:教授
- 研究期限:1993-01-01 至 1996-12-31
- 支持經費:7(萬元)
中文摘要
“顯微形貌位移相關分析與重構”是測量物體微區內位移場的方法。觀測微區可小到納米尺度,最高解析度是0.1nm,可測出原子級的位移量。測量原理基於表征自然形貌的隨機轉波顯微自增密現象,攝取載波圖的變化,用圖象相關、變分、有限元等分析方法,以得表面位移場。從形貌變化的多向投影圖用重構法獲得內部位移場。測試系統由顯微鏡、微綱及分析軟體組成。該系統可按需要置換三種顯微鏡(遠距離光學顯微鏡,掃描電鏡,原子力顯微鏡。)測件置於空氣中或真空試件盒中,一般不需作表面處理,操作簡便,通用。是開拓細微觀實驗力學途徑之一,可望套用於細、微觀固體力學,材料學,微電子學,納米機械學等領域。.