光耦合顯微CT系統最佳化理論與技術研究

光耦合顯微CT系統最佳化理論與技術研究

《光耦合顯微CT系統最佳化理論與技術研究》是依託首都師範大學,由朱溢佞擔任項目負責人的青年科學基金項目。

基本介紹

  • 中文名:光耦合顯微CT系統最佳化理論與技術研究
  • 項目類別:青年科學基金項目
  • 項目負責人:朱溢佞
  • 依託單位:首都師範大學
項目摘要,結題摘要,

項目摘要

基於光耦合探測(OCD)的顯微CT在亞微米解析度的檢測中有著廣泛而重要的套用需求,如數字岩芯、電子封裝、複合材料的內部檢測和成像等。目前國內外OCD的顯微CT成像算法仍基於傳統的成像模型,使得高分辨成像效率較低,限制了設備的推廣套用。本項目擬從OCD顯微CT的成像機理出發,研究新的成像數學最最佳化模型,設計快速穩定的求解算法,揭示成像關鍵元件與解析度和成像效率的關係,從理論和技術上為成像系統最佳化提供依據,從而提高OCD顯微CT高分辨成像的效率。本項目研究成果將用於我國微納米X射線顯微CT設備研製,促進我國顯微CT成像理論和套用發展。

結題摘要

基於光耦合的顯微CT是對微小結構和成分三維成像的重要技術,在石油、地質、材料、微電子、生物等諸多領域以及國防工業中有重要套用需求。本項目主要研究了基於光耦合顯微CT的成像理論與最佳化設計關鍵技術,在OCD顯微CT成像原理、多領域正則化成像、能譜成像、內問題成像以及光學參數設計和閃爍體加工等關鍵理論和技術問題方面取得了一批重要成果。項目圍繞光耦合顯微CT的成像能力,包括空間解析度、物質解析度以及成像效率等方面展開,其中成像空間解析度能高於500nm,實現了高信噪比的能譜成像,即更好的物質分辨能力以及改進了成像光路設計,成像效率提升近30%。此外,項目還進一步地研發了多種具備新功能的光耦合顯微CT成像裝置,包括超分辨成像、高效率的級聯成像以及空間&能譜分辨的成像。這些成果目前正在與項目組合作的顯微CT生產廠家進行聯合測試,有望套用到商業化微納米CT設備中,為促進我國顯微CT設備的性能指標提供有利的幫助。

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