光學非球面測量及分析儀

光學非球面測量及分析儀是一種用於機械工程領域的計量儀器，於2016年5月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：光學非球面測量及分析儀
• 產地：英國
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2016年5月1日
• 所屬類別：計量儀器

技術指標

120 mm的驅動箱具有0.25 μm 120 mm 的直線度 8mm的量程，0.8nm的垂直解析度 使用120mm長的測針臂量程可達到16mm。

主要功能

測量樣品表面輪廓度和粗糙度。