光學參數綜合測試系統

光學參數綜合測試系統是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的物理性能測試儀器，於2016年9月3日啟用。

基本介紹

• 中文名：光學參數綜合測試系統
• 產地：中國
• 學科領域：工程與技術科學基礎學科
• 啟用日期：2016年9月3日
• 所屬類別：物理性能測試儀器 > 光電測量儀器

技術指標

微納表面、結構檢測， 波前測量精度優於1/10波長。

主要功能

光學參數綜合測試系統通過使用高橫向解析度和多像素的採樣，結合 短波雷射波長，顯示樣品表面極小的細節信息。非接觸式成像方法 保護敏感樣品不會受到損傷。可實現自動化數據採集使效率更高。 可通過拼接圖像採集大面積區域，以獲 取足夠多的數據進行評估。