光學元件三維自由曲面測量儀

光學元件三維自由曲面測量儀是一種用於物理學領域的計量儀器，於2011年8月30日啟用。

基本介紹

• 中文名：光學元件三維自由曲面測量儀
• 產地：日本
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2011年8月30日
• 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 納米測量機

技術指標

測量範圍：200mm×200mm×45mm 測量精度：測量面傾斜角≤30°：0.01 μm ~ 0.05 μm 測量面傾斜角≤45°： ~ 0.1 μm 測量面傾斜角≤60°： ~ 0.3 μm。

主要功能

可實現物體表面的三維形貌測量，包括平面、柱面、球面、非球面和自由曲面等。