《保形性電漿基離子注入數值模擬及實驗研究》是依託復旦大學，由孫琦擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：保形性電漿基離子注入數值模擬及實驗研究
- 依託單位：復旦大學
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：孫琦
- 批准號：50301005
- 申請代碼：E0103
- 負責人職稱：副教授
- 研究期限：2004-01-01 至 2004-12-31
- 支持經費：8（萬元）
項目摘要
電漿基離子注入(PBII-Plasma based ion implantation)技術是極具潛力的新型材料表面改性技術。本項目研究不同幾何形狀工件電漿基離子注入的鞘層擴展動力學行為，多種類、能量連續分布的注入元素在改性層中的分布，保形性注入的基本規律及影響因素，探索獲得複雜形狀工件均勻注入層的途徑，研製相應的數值模型系統，從理論上和實踐上解決幾種典型幾何形狀的注入層均勻性問題，為設計和
