低維納米結構沉積系統

低維納米結構沉積系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2015年8月31日啟用。

基本介紹

• 中文名：低維納米結構沉積系統
• 產地：美國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2015年8月31日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備

技術指標

配備4個以上的靶位； 真空度低於1×10-8mbar。

主要功能

實現納米顆粒和一些分子的無損傷沉積，是研究和製備低維納米材料非常重要的手段，對低維納米材料的可控制備和新型納米磁性材料開發具有重要作用。